论文类型:硕士毕业论文 论文字数:74400字 论点:前驱,材料,沉积 论文概述: 本文关注于高介电薄膜材料的原子层沉积(ALD)技术制备、表征及其在微电子领域的...
水利万物而不争,
而万物莫能与之争。